微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
CY-SPC4-PP匀胶机,铝合金结构, 10000转,程控匀胶
产品介绍 成越CY-SPC4-PP匀胶机采用铝合金结构和PP腔体设计最高转速可达10000转/秒加速度范围100~5000rpm/s配备按键和高亮液晶屏控制界面支持程控匀胶可储存5条匀胶曲线适用于直径≤4英寸的基片具有φ6mm快拧抽气接口整机尺寸210*250*180mm重量8kg配套干式机械泵抽气速率50L/min CY-SPC4-PP匀胶机经过小型化设计,整体采用铝合金结构, PP腔体,外观美观坚固。仪器采用先进的精密电机,最高转速能达到8000转/秒;控制依靠按键和高亮液晶屏,除直接匀胶外还能预存匀胶曲线进行程控匀胶。本仪器在极大的减小了体积的前提下有效的保障了仪器性能和功能,十分适合实验室选购。 适用范围 匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。 技术参数
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