微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
CY-SPC4-PMMA匀胶机,光刻胶旋涂仪, 10000转/秒程控匀胶
产品介绍 成越CY-SPC4-PMMA匀胶机采用精密电机驱动,转速范围0-10000rpm,加速度100-5000rpm/s,配备液晶屏实现程控操作。仪器具备5条可存储匀胶曲线,适配直径≤100mm基片,透明亚克力腔体便于观察。集成φ6mm快拧抽气接口,整机尺寸210×250×180mm,干式机械泵抽速50L/min,满足光刻胶旋涂、溶胶凝胶薄膜制备等需求。 CY-SPC4-PMMA匀胶机经过小型化设计,整体采用铝合金结构,亚克力腔体,外观美观坚固。仪器采用先进的精密电机,最高转速能达到8000转/秒;控制依靠按键和高亮液晶屏,除直接匀胶外还能预存匀胶曲线进行程控匀胶。本仪器在极大的减小了体积的前提下有效的保障了仪器性能和功能,十分适合实验室选购。 适用范围 匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。 技术参数
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