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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
CY-SPC4-PTFE匀胶机,小型化设计, 10000转/秒,程控匀胶
CY-SPC4-PTFE匀胶机,小型化设计, 10000转/秒,程控匀胶图片
型号: CY-SPC4-PTFE
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型号:CY-SPC4-PTFE
仪器类型:匀胶机
产品介绍

成越CY-SPC4-PTFE匀胶机采用铝合金结构和聚四氟腔体设计,最高转速10000转/秒,加速度范围100-5000rpm/s。仪器配备按键和高亮液晶屏控制界面,支持预存5条匀胶曲线,每条曲线5段。适用直径≤4英寸基片,具有φ6mm快拧抽气接口,整机尺寸210*250*180mm,重量8kg。可应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作等场景。

本型号匀胶机经过小型化设计,整体采用铝合金结构,聚四氟腔体,外观美观坚固。仪器采用先进的精密电机,最高转速能达到8000转/秒;控制依靠按键和高亮液晶屏,除直接匀胶外还能预存匀胶曲线进行程控匀胶。本仪器在极大的减小了体积的前提下有效的保障了仪器性能和功能,十分适合实验室选购。

产品特点

匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。

技术参数

型号

CY-SPC4-PTFE

转速范围

0~10000rpm

加速度范围

100~5000rpm/s

转速分辨率

1rpm

单步时间

3000s

适用基片

直径≤4英寸(100mm)

腔体材质

聚四氟腔体

人机界面

按键+液晶屏

滴胶方式

手动滴胶,可选购精密注射泵

匀胶曲线

每条曲线5段,共可储存5条曲线

抽气接口

φ6mm快拧接口

整机尺寸

210*250*180mm

整机重量

8kg

真空泵

干式机械泵

抽气速率

50L/min

真空泵供电电源

AC220V 50/60Hz

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