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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
CY-SPC8-PMMA-RDB亚克力8英寸匀胶机,带蠕动泵
CY-SPC8-PMMA-RDB亚克力8英寸匀胶机,带蠕动泵图片
型号: CY-SPC8-PMMA-RDB
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型号:CY-SPC8-PMMA-RDB
仪器类型:匀胶机
产品介绍

成越 CY-SPC8-PMMA-RDB 亚克力8英寸匀胶机结合了铝合金结构和透明亚克力腔体,确保了坚固耐用且易于观察的设计。配备先进的精密电机,支持高达10000rpm的转速,保证薄膜的均匀性。7寸高清触控屏使得匀胶曲线的预设和存储变得简单直观,非常适合实验室使用。

亚克力八英寸匀胶机经过小型化设计,整体采用铝合金结构,腔体选用透明亚克力,外观美观坚固。仪器采用先进的精密电机,转速能达到10000转/分,有效的保障了成膜的均匀性。另外本仪器采用触控屏控制,可以预设匀胶曲线,大大简化了使用过程降低了学习成本,十分适合实验室选购。

适用范围

匀胶机可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。

技术参数

旋涂仪供电电压AC220V,50Hz
转速0~10000rpm
加速度100~5000rpm/s
转速分辨率1rpm
单步时间3000s
基片尺寸直径≤8英寸(200mm)
腔体材质亚克力材质,便于观察旋涂状态
盖子PP材质,带注液管支架
操作方式7寸高清LCD触控屏
滴胶方式手动滴胶,可选购精密注射泵
匀胶曲线每条曲线5段,共可储存5条曲线
抽气接口φ8mm 快拧接口
整机尺寸290mm×365mm×260mm
整机重量22kg
排气系统真空泵干式机械泵
抽气速率50L/min
供电电源AC220V 50/60Hz
真空吸盘 材质:铝合金
规格:直径:100mm,150mm,170mm;
蠕动泵型号:BT-300CA/153Yx-PPS
适配泵管:硅胶管、A-60-F管、涂层管
可选泵管尺寸:14#、16#、25#、17#、18#
电机种类:步进电机
电压转速: 220V-300rpm(*大转速)
流量:0.022~1340ml/min
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