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微电子和半导体行业专用 >> 旋涂薄膜制备
CY-SPC8-E加热型匀胶机,铝合金阳极氧化+加热烤胶
CY-SPC8-E加热型匀胶机,铝合金阳极氧化+加热烤胶图片
型号: CY-SPC8-E
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型号:CY-SPC8-E
仪器类型:匀胶机
产品介绍

CY-SPC8-E 加热型匀胶机是一款高性能的涂胶设备,具备0~10000rpm的宽广转速范围和100~5000rpm/s的高加速度,转速分辨率高达1rpm,可实现精准的涂胶控制。其采用铝合金阳极氧化材质,耐用性强,配备上盖加热功能,加热温度可达RT+200℃,适用于直径≤8英寸(200mm)的基片。设备支持手动滴胶和选购精密注射泵,提供灵活的滴胶方式;匀胶曲线可编程,每条曲线5段,共可储存5条,满足多样化工艺需求。同时,内置干式机械泵,抽气速率50L/min,搭配φ6mm快拧接口,操作便捷。整机配备7寸高清LCD触控屏,操作直观,整机重量仅12kg,尺寸为290mm×365mm×300mm,小巧便携,适合实验室和工业生产等多种场景。

CY-SPC8-E 加热型匀胶机采用全铝合金腔体,美观坚固。仪器采用先进的精密电机,转速能达到10000转/分,有效的保障了成膜的均匀性。除了基本的旋涂功能,本品还配有加热组件,可以加热到200℃,由智能温控表控温,温度测定准确,升温过程完全可控。另外本仪器采用触控屏控制,可以预设匀胶曲线,大大简化了使用过程降低了学习成本,十分适合实验室选购。

适用范围

可以将液态或胶体材料涂覆在硅片、晶体、石英、陶瓷等基片上形成薄膜,主要应用于光刻胶旋涂、生物培养基制作、溶胶凝胶法制作高分子薄膜等领域。

技术参数

型号

CY-SPC8-E

转速范围

0~10000rpm

加速度范围

100~5000rpm/s

转速分辨率

1rpm

单步时间

3000s

适用基片

直径≤8英寸(200mm)

腔体材质

铝合金

滴胶方式

手动滴胶,可选购精密注射泵

匀胶曲线

每条曲线5段,共可储存5条曲线

抽气速率

50L/min

真空泵

干式机械泵

加热温度

RT+~200℃

加热部位

上盖加热

电源电压

AC220V 50/60Hz

抽气接口

φ6mm 快拧接口

操作方式

7寸高清LCD触控屏

整机重量

12kg

整机尺寸

290mm×365mm×300mm

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